『章节错误，点此报送』

第320章 偶然发现[2/3页]

　　把晚上一起在外面吃顿饭的事和张晓寒说了一下之后，就离开了。

　　因为两台euv光刻机也是需要装进无尘车间的，所以现在也都在无尘车间的缓冲区静置着。

　　而陈彦霖已经趁着这个时间拿到了euv光刻机的使用说明书，开始看了起来。

　　因为设备的使用说明书里面会有如何日常维护保养？还有出现故障后，如何维修等的相关内容，所以说明书里面也会有不少设备内部的构造图和工作原理的相关内容。

　　陈彦霖结合着duv光刻机的说明书，又把euv光刻机的说明书详细地看了一遍之后，再一次佩服起asnml公司精益求精的态度。

　　这两个型号的光刻机不仅光源不同，在许多细节设计上面也做了进一步优化。

　　陈彦霖看着两款不同时间段的设计，仿佛已经从中看到了asnml公司的研究人员们是如何通过一步步探索，最终研发出这款euv光刻机的。

　　虽然euv光刻机还需要在无尘车间的缓冲区静置一天才会开始组装，但是陈彦霖已经开始有点迫不及待了起来。

　　陈彦霖想了一下，最终还是拿上了无尘服往无尘车间的方向走了过去。

　　无尘车间内部的气压是高于室外的，这样可以保证外部的灰尘无法进入无尘车间内。

　　陈彦霖在无尘车间的更衣室换好无尘服之后，就经过了风淋门，把身上的灰尘又吹了一遍之后，才进去了无尘车间。

　　陈彦霖本来只是想提前看一下euv光刻机内部的零部件的，结果陈彦霖还没

第320章 偶然发现[2/3页]

『加入书签，方便阅读』